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금속과 실리콘 접합을 위한 플라즈마 기술 개발 소식

플라즈마라이프(주) 2023.06.13 13:59 조회 25
금속과 실리콘을 접착하는 데 사용되는 플라즈마에는 크게 두 가지 유형이 있습니다:
 
* 대기 플라즈마:** 이 유형의 플라즈마는 접착할 재료 주변의 공기를 이온화하여 생성됩니다. 이는 무선 주파수(RF) 또는 마이크로파 방사 등 다양한 방법을 사용하여 수행할 수 있습니다.
* 진공 플라즈마:** 이 유형의 플라즈마는 진공 챔버에서 가스를 이온화하여 생성됩니다. 전자 충격 또는 아크 방전 등 다양한 방법을 사용하여 생성할 수 있습니다.
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