특징

전극타입

   사용 재질

  사용 방법

특징(장/단점)

1.직접방전 타입

1)부도체 재질; 4mm이하

2)도체 재질; 제한 없음

* 가스(아르곤)를 사용하지 않고

소재에 직접 방전(플라즈마)시켜

표면처리 하는 방식

(+)의 세라믹전극 과(-)실리콘 롤러

로 구성 돠며 소재가 (-)위에 흘러가는 구조

가격이 저럼 하다, 긴 (1m이상에서 주로 사용)재질도 저렴하다

2.간접방전 타입

1)도체 재질 ; 제한 없음

2)부도체 재질; 제한 없음

*가스(아르곤)를 사용 해야 하며

방전관에서 방전후 소재에 플라즈마를 분사하는 방식으로 소재 재질,두께에 영향이 없으나 가격이 비쌈

(+)(-)일체된 방전관구조로 가스를 사용하므로 구조가 복잡해 비용이 비싸므로 주로 작은 사이즈에 사용

l  전기적 손상이 없어 광학 필름에 주로 사용한다